洁净室的发展与现代工业、高技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级:分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。
如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺),下面尘埃粒子计数器厂家为大家介绍级别划分。
1级;这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的准确要求位亚微米。
10级;这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级;很多人认为。这是使用范围面广,因而是重要的无尘车间。人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于植入体内物品的制造,外科手术,包括集成器的制造,那些对细jun感染特别敏感的病人的隔离治iao。
1000级;这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配高质量微型轴承等。
10000级;万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
100000级;十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压的制造,食品饮料的生产,医药工业也常常使用这上等无尘车间。
无尘车间是一个多功能的归纳整休,多功能表现在以下两个方面。
多专业--修建、空调、净化、纯水、纯气;
多参数--空气洁净度、细jun浓度以及空气的风量、压力、噪声、照度,万级无尘车间强度高,隔热保温,可作天花围护布局板材承重,抗弯抗压,一般洁净室比较少用梁柱。